在要求严苛的半导体生产领域，工艺效率和可靠性至关重要。GEMÜ PC50 iComLine模块化解决方案凭借其创新的模块化设计，为半导体制造提供更安全、更经济高效的流体控制，显著优化生产流程。
模块化工艺
GEMÜ PC50 iComLine模块化解决方案与基础多通道阀结构类似，但在执行器数量、连接尺寸和通道上更具灵活性。该解决方案提供丰富的模块化选项，支持客户按需选择和定制。面对不断变化的工艺需求，单个模块可独立更换，有效提升整体生产效率。
模块化功能
GEMÜ PC50 iComLine模块化解决方案可应用于蚀刻工艺等多种工艺段。在蚀刻中，需要在多个连续步骤中从硅片上精确去除材料层以形成创建晶圆所需结构。在喷涂酸（SAT）和喷涂溶剂（SST）设备中，GEMÜ PC50 PC50 iComLine模组阀体通常位于蚀刻室下方，负责可靠地输运各类处理化学品。其模块化设计允许工厂制造商根据具体工艺需求灵活配置出口数量，确保高效生产。
技术参数：
• 8个执行器（7x NC; 1x NO）
• 定制夹口配件
• 低介质压力下的高流量
