GEMÜ PC50 iComLine:模块化设计,赋能半导体灵活制造(下)

在上期内容中,我们介绍了 GEMÜ PC50 iComLine 模块化解决方案的工艺灵活性和功能多样性。今天,我们将继续探讨其模块化设计的应用,了解它是如何通过灵活配置和高效密封来提升生产效率和可靠性

模块化设计在排液模组阀中的应用

GEMÜ PC50 iComLine的核心在于其模块化设计(如下图所示)。该系统由起始模块和结束模块组成,中间模块的数量可根据需求自由增减。所有模块通过通孔螺栓连接,并依靠高性能O型圈实现可靠密封。

通过调整模块数量,系统可轻松适应不同工艺流程和容量需求。通孔螺栓穿过所有模块,两端通过螺母锁紧,形成稳固的一体化结构

为确保块组件之间的密封性,客户可以结合压力、温度和介质需求,选择对应的密封件。这些密封件在轴向方向上密封连接,几乎无死角。盖米有不同材质的O型圈可选,也有双向密封以及o-ring free结构可选。

为满足半导体行业对超高纯度和工艺可靠性的严苛标准,所有GEMÜ PC50 iComLine阀块均在盖米洁净室环境中完成组装和测试

模块化设计优势

  • 支持多种连接类型和尺寸
  • 模块和密封件的材料可选
  • 螺纹杆长度可根据模块数量调整
  • 多种执行器尺寸可选
  • 中间模块标准化,可重复使用,节约成本
  • 单个模块更换简化维护,减少停机,提高产能

GEMÜ PC50 iComLine模块化阀块解决方案以灵活配置、快速更换模块和多样化选项,提升效率、降低成本,助力驱动半导体行业进行更安全、经济、高效的生产未来。

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